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图01 · 微纳加工实验室由该组访谈作业提供来源
图片来源：由该组访谈作业提供；原稿未单独注明摄影者
小组通过采访了解微纳加工中的光刻、刻蚀与材料分析设备，也注意到洁净环境背后的空气循环和维护。
看似普通的地板与空间分区，服务着肉眼难以直接看见的尺度。
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同学的作业细节
同学原作业摘录 · 原访谈汇报第7页；图源、版本与定位以本页更新说明为准。
位于自强科技楼，主要是用做半导体器件，包含光刻设备，热处理设备 刻蚀设备 清洗与表面处理设备，微观形貌与材料分析设备。
实验室大致将区域分为十集区，百集区和千集区（多少集区指一平方米中有多少个颗粒物）【编者核注：洁净等级按单位体积空气中的粒子浓度及粒径等条件定义，不是按每平方米计数；具体等级口径应以实验室采用的标准为准。】，整个实验室地板设计为多孔的，全天有气体循环体系保证湿度的稳定，并且可以将灰尘吹入专门的区域，有保洁定时清理。
微纳加工的不同工艺
公开资料整理
清华大学大型仪器共享平台列出光刻、刻蚀、薄膜、清洗以及测试分析等微纳加工工艺。平台信息有助于理解同学访谈中提及的设备类型；具体实验室归属、可用设备和进入条件以平台实际规定为准。 洁净度采用单位体积空气中的悬浮粒子浓度衡量；不同标准需结合粒径与测量条件理解，不能把它写成每平方米的粒子数。
人物访谈 · 受访者：何铠奇（工程物理系）
